KAIST와 삼성전자 연구진이 반도체 공정에서 발생하는 온실가스인 CF₄를 효과적으로 분해하는 새로운 촉매를 개발했습니다. 이 촉매는 기존 촉매보다 분해 성능이 2.3배 높고 장기 안정성도 확보했습니다. 이번 연구는 반도체 산업의 환경 문제 해결에 기여할 것으로 기대됩니다.