中國已開始量產自主研發的浸沒式（Immersion）DUV（Deep Ultraviolet，深紫外）光刻機，今年預計交付約五台設備，首批客戶包括中芯國際（SMIC）、華虹半導體，以及長鑫存儲（CXMT）。這也是中國首次進入浸沒式DUV光刻機的量產階段，被視為北京推動半導體自主供應鏈的重要里程碑。 據悉，這項計畫由上海愛生納電子科技集團（Shanghai Aishengna ...