서플러스글로벌은 ALD 공정 기술과 웨이퍼 이송·로딩 기술에 대한 국내 특허 3건을 확보했다고 밝혔다. 이번 특허는 중고 반도체 장비의 성능과 가치를 높이는 업사이클링 기술 역량을 강화한 것으로, 공정 안정성 향상과 AI 기반 장비 진단, 웨이퍼 정렬 감지 기술을 포함한다. 이는 장비 재활용 가치를 높여 반도체 생산성 향상에 기여할 것으로...