ニコンは、1時間に300枚以上のスループットを提供する新たなArF露光装置「NSR-S333F」の受注を10月より開始すると発表しました。この装置は重ね合わせ精度をMMO(同一機種間)で4nm以下に保ちながら、高い生産性を実現します。詳細はマイナビニュースをご覧ください。